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SK하이닉스, TEL 극저온 식각 장비 도입 위한 테스트 진행[카테고리 설정이 아직되어 있지 않습니다.]
기존 식각 공정에는 지구온난화지수(GWP)가 높은 불화탄소(CF) 계열 가스가 쓰였으나, TEL의 차세대 식각 장비에는 GWP가 1 미만인 불화수소(HF) 가스를 사용한다. 사불화탄소(CF4), 팔불화사탄소(C4F8)의 GWP는 각각 6030...
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