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플라즈마텍, ENVEX 2024서 '플라즈마 가스 스크러버' 소개해... "반도체 전공...[카테고리 설정이 아직되어 있지 않습니다.]
이는 고온 3,000℃ 이상의 플라즈마 화염을 이용해 반도체 전공정에서 배출되는 유해가스인 온실가스, PFCs, 산성가스를 대용량·고효율로 처리하는 제품이다. 특히 최신 기술을 적용해 저전력과 대용량 니즈를 반영한...