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세메스, 반도체 포토공정용 '오메가 프라임' 양산 나서[카테고리 설정이 아직되어 있지 않습니다.]
그간 불화크립톤(KrF) 스피너를 생산하던 세메스는 광원의 파장 선폭이 짧아진 고성능 노광기에 대응하기 위해 불화아르곤이머전(ArF-i) 장비를 새로 개발, 지난해 양산 1호기를 출하한 바 있다. 불화아르곤 이머전 장비는...
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