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반도체는 전기 먹는 하마?...재생에너지·공정 혁신으로 극복 나선 SK하이닉스...[카테고리 설정이 아직되어 있지 않습니다.]
반도체 식각 공정(필요한 회로 패턴을 제외한 나머지 부분을 제거하는 과정) 등에 사용되는 각종 공정가스(과불화탄소‧PFCs, 이산화탄소·CO2, 메탄‧CH4, 아산화질소‧N2O, 수소화불화탄소‧HFCs, 육불화황‧SF6...
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