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[삼성 파운드리 미래] ⑩ ESG·탄소중립 시대의 반도체 제조 혁신 과제
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또한 삼성은 반도체 제조 과정에서 발생하는 고위험 온실가스인 NF₃(삼불화질소), PFCs(과불화탄소)를 줄이기 위해 대체 가스 개발 및 화학 흡착 기술을 도입하고 있다. 일부 공정에서는 탄소 포집·재활용(CCU) 파일럿...


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