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"반도체·디스플레이 산업, 무탄소 전력공급 체계와 신공정가스 개발 시...[카테고리 설정이 아직되어 있지 않습니다.]
반도체 식각·증착·세정공정에서 사용하는 특수가스로는 수소불화탄소(HFCs), 과불화탄소(PFCs), 육불화황(SF6), 삼불화질소(NF3) 등이 있다. 이들 가스는 대표적인 온실가스인 이산화탄소(CO2)보다 지구온난화지수(GWP)가...
