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FST, EUV 펠리클 공급 임박…삼성과 가격 협상 돌입
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ArF나 KrF 등 기존 DUV용 펠리클 개당 단가가 수십만원에서 가장 비싼 제품이 100만원 정도인 점을 감안하면 상당히 높은 부가가치를 가진 제품이다. FST가 공급한 EUV 펠리클 시제품은 프레임에서 일부 파티클(먼지)이...


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