서울과학기술대학교 환경기술연구소 한국연구재단 중점연구소
이미 회원이신가요? 로그인  |   회원가입

link 세부 정보

정보 바로가기 : 삼양엔씨켐, EUV PR 소재 개발…삼성전자 공급 동진세미켐향 비중 50%

삼양엔씨켐, EUV PR 소재 개발…삼성전자 공급 동진세미켐향 비중 50%
[카테고리 설정이 아직되어 있지 않습니다.]
기존 DUV방식(KrF/ArF)은 멀티패터닝이 필요해 공정 단계와 비용, 사이클 타임이 증가하는 문제가 있지만, EUV 방식은 싱글패터닝으로 14nm, 멀티패터닝(MPT)으로 2nm 이하도 가능하다고 한다. 기존 DUV 방식보다 15~50...


검색 키워드


Our Contact

서울과학기술대학교 환경기술연구소 서울 노원구 공릉로 232 (공릉동, 서울과학기술대학교) 테크노큐브동 910호, 911호 환경기술연구소
사이트 개발 : 트리플앤 주식회사
사이트 장애 문의 : 070-8692-0392 | help@treeple.net

본 홈페이지에 게시된 이메일 주소, 연락처 정보 등 자동수집되는 것을 거부하며, 이를 위반시 정보통신망법에 의해 처벌됨을 유념하시기 바랍니다.
서비스 이용약관 |  개인정보 수집 및 이용

Copyright © 2021 서울과학기술대학교 환경기술연구소. All Rights Reserved.
close button