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日수출규제 대상 포토레지스트 국산화…이부섭 회장 별세
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1994년에는 삼성전자에 4메가 디램용 PR을 납품하는 데 성공했고, 이후 G-라인(436㎚), I-라인(365㎚), 불화칼륨(KrF) PR(248㎚), 불화아르곤(ArF) 포토레지스트(193㎚) 개발에 성공했다. 2014∼2017년...


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