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에코에너젠, 반도체 식각 공정 프레온가스 분해...온실가스 저감 기술 ...[카테고리 설정이 아직되어 있지 않습니다.]
이 회사는 온실가스인 이산화탄소(CO₂), 프레온가스(PFCs), 아산화질소(N₂O) 등 반도체 생산 과정에서 발생하는 유해 물질을 제거하는 장치와 질소산화물(NOx) 저감 설비를 제조한다. 핵심 기술은 ‘베이 캐털리스트...
