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반·디 업계 "탄소중립 위해 태양광·풍력 등 분산형 전원 필요"
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반도체 식각·증착·세정공정에서 사용하는 특수가스 수소불화탄소(HFCs)와 과불화탄소(PFCs) 등은 이산화탄소보다 지구온난화지수가 140~2만3900배 강력하다. 업계는 탄소 배출을 줄일 대체 가스 개발이 시급하다고...


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