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[칩톡]파운드리 전유물서 D램으로…'하이 NA EUV' 초미세 공정 경쟁 불붙...[카테고리 설정이 아직되어 있지 않습니다.]
1980~90년대 들어서는 KrF(248㎚), ArF(193㎚) 레이저를 활용한 DUV(심자외선) 장비가 본격 상용화되며 미세화 경쟁이 가속화했다. 2000년대 초반에는 물을 매개로 빛을 굴절시키는 '이머전스 기술'이 더해져 45㎚ 이하...
