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[나노협회-신소재경제 공동연재]기술패권 경쟁시대, 첨단산업 초격차 이...[카테고리 설정이 아직되어 있지 않습니다.]
또한 고적층 채널홀 식각 시 고종횡비 컨택(HARC, High Aspect Ratio Contact) 구조를 구현하기 위해 극저온(cryogenic) 환경을 채택하게 됐고, 기존 불화탄소(CxFy)계 식각 가스에서 불화수소(HF)계 식각 가스로 변화됨에 따라...
