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中 칭화대, 첨단 반도체 자립 '한계점' 넘는 성과 달성
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JRJ.com에 따르면 중국 내 KrF/ArF 포토레지스트조차 국산 점유율이 5% 미만에 그치며 EUV 포토레지스트는 전량 수입에 의존하는 실정이었지만, 칭화대 연구팀은 이 같은 한계를 텔루륨(Te) 기반 구조로 극복함으로써...


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