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‘넷제로’는 숙명...K반도체 ‘친환경’ 옷 갈아입는다
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대표적으로 이산화탄소(CO2), 메탄(CH4), 아산화질소(N2O), 수소화불화탄소(HFCs), 육불화황(SF6), 과불화탄소(PFCs)에 삼불화질소(NF3) 등이 있다. SK하이닉스는 공정 가스를 대체하기 위해 소재, 장비 기업과 협력하고 있다....



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