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원익머트리얼즈, '차세대 식각가스' 사업 추진…“극저온·친환경 소재 개발”[카테고리 설정이 아직되어 있지 않습니다.]
목표는 기존 메탄(CH₄), 이산화탄소(CO₂), 과불화탄소(PFCs), 수소불화탄소(HFCs), 육불화황(SF6), 아산화질소(N₂O) 등을 대체하는 것으로, 반도체 공정 과정에서 발생하는 온실가스나 유해 가스를 제거하는데 방점을 뒀다....
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