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삼성전자, 메모리 반도체용 '포토마스크' 첫 외주 실시
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(i-라인, KrF급) 생산 발주를 냈다. PKL은 미국 상장사 포트로닉스의 한국 자회사다. 일본 토판홀딩스의 한국... 불화크립톤(KrF, 248nm)는 중급 해상도로 일반적 반도체 공정에 활용된다. 불화아르곤(ArF, 193nm)은 보다 정밀한...


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