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삼성전자, 日 미쓰이와 EUV 펠리클 맞손…파운드리 수율 개선 사활 [biz-...[카테고리 설정이 아직되어 있지 않습니다.]
아울러 차세대 ‘탄소나노튜브(CNT) 펠리클’ 상용화에도 박차를 가하고 있다. 25일 업계에 따르면 삼성 파운드리는 일본 미쓰이화학에서 수십억 원 규모 EUV 펠리클을 구매하기로 했다. 최종 시험을 거친 뒤 경기도...
