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세메스, 반도체 포토 공정 장비 국산화 성공[카테고리 설정이 아직되어 있지 않습니다.]
세메스는 그동안 불화크립톤(KrF) 스피너를 주로 생산하다 광원의 파장 선폭이 짧아진 고성능 노광기에 대응하기 위해 불화아르곤이머전 장비를 개발했다. 최길현 세메스 CTO는“반도체 핵심공정 장비인 오메가 프라임의...
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