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[뉴스핌 라씨로] 와이씨켐, 반도체 유리기판 핵심소재 상용화..."고선택비 인...[카테고리 설정이 아직되어 있지 않습니다.]
이와 관련해 지난 2004년 ArF(불화아르곤) 및 KrF(불화크립톤) 포토레지스트용 린스를 세계 처음으로 개발했으며, 2015년에는 특수목적용 ArF 이머전 공정용 린스도 세계 최초로 선보였다. 올해는 극자외선(EUV) 노광 공정(PR)...
