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강동대 창업경영과 이도희, 플라즈마 고효율 전극 발명
강동대 창업경영과 이도희, 플라즈마 고효율 전극 발명
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이 발명품은 반도체 공정 중에 배출되는 과불화탄소(
PFCs
)를 저감시키고, 생산시설 옥상의 배출가스 덕트에 직접 부착하는 플라즈마 발생기를 통해 PFC기체를 대량분해 처리하는 전극장치이다. 이도희 학생은"특허받은...
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