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[2024년 가스기술사 제언] ⑤ 온실가스 감축 위한 플라즈마 기술 도입 탄소배...[카테고리 설정이 아직되어 있지 않습니다.]
반면 반도체 산업에서는 CF₄, CHF₃, NF₃ 등 온난화지수가 높은 F-가스(불소계 온실가스)를 사용하고 있다. 또한 F-가스의 전구체 연소 시 LNG 버너를 사용함에 따라 다량의 COx도 배출 중이다. 본 기고문에서는 반도체...
