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그린반도체·청록수소…탄소중립 향한 산업 현장의 발걸음[카테고리 설정이 아직되어 있지 않습니다.]
적은 에너지로도 불소가스와 질소산화물, 황산화물 등의 환경오염 물질도 함께 제거할 수 있다. 반도체 공정 가스 등을 공급하는 설비인 '서브팹'에 적용하면 반도체 산업 경쟁력을 확보하는 데 도움이 될 것으로...
서울과학기술대학교 환경기술연구소 한국연구재단 중점연구소 
