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반도체공정 미세먼지-배기가스 동시제거 설비 세계 첫 개발
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한국의 주력 수출품인 반도체의 제조 공정에서도 미세먼지 등 각종 대기오염물질이 발생해 이를 제거하는 기술이 국내 연구진들에 의해 개발되고 있다. 14일 한국기계연구원에 따르면 반도체 공정에서 발생하는 대기오염물질을 제거하기 위한 설비가 올해부터 한 반도체 업체 공장에서 시험 가동되고 있다. 이 장비는 질소산화물(NOx), 황산화물(SOx) 등 가.. 이 가스는 온실가스이기 때문에 그대로 배출해서는 안 되며 이를 제거하는 과정에서 질소산화물이나 미세먼지를 유발하는 물질이 발생한다...“국내 반도체 공장은 인구 밀집 지역과 인접해 있기 때문에 미세먼지 등 대기오염물질은 소량이라도 배출해서는 안 된다”고 했다.....미세먼지나 미세먼지 2차 생성의 원인 물질이 배출될 수밖에 없다.....미세먼지 등 오..

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