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美 인텔이 하이-NA EUV 이후에 장착할 최첨단 기술 3선 [강해령의 하이엔드 테...[카테고리 설정이 아직되어 있지 않습니다.]
DSA는 두 개의 고분자가 한 개의 짝으로 결합된 물질, 이른바 코폴리머(Co-Polymer)를 웨이퍼 위에 바르고요.... 이 코-폴리머 물질의 강력한 후보로는 폴리메틸 메타크릴레이(PMMA)와 폴리스타이렌(polystyrene)의 결합이...
