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12개 챔버를 단일 시스템으로…AMAT, '비스타라' 식각 장비 공개
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한편 AMAT는 비스타라 플랫폼과 함께 이에 대응하는 첫 소프트웨어 플랫폼 '에코트윈(EcoTwin) 생태효율성' 툴도 공개했다. AMT는 "센서 데이터를 사용해 엔지니어가 챔버와 시스템, 서브팹 컴포넌트의 에너지, 화학물질...


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