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[이슈] TC본더부터 가스 정제·배출까지…세미콘코리아서 첨단 기술 공...[카테고리 설정이 아직되어 있지 않습니다.]
원익홀딩스의 일반 정제기는 질소(N₂), 산소(O₂), 헬륨(He), 아르곤(Ar), 수소(H₂), 암모니아(NH₃) 등 다양한 벌크 가스를 1ppb 이하로 정제할 수 있고, 반도체 제조에 필수적인 SiH₄, HCl, NH₃, TCS 등의 특수 가스 정제가...
