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[초점] 캐논, AI 반도체 후공정 독주…니콘, 신기술로 도전장[카테고리 설정이 아직되어 있지 않습니다.]
이후 캐논은 빛의 파장이 더 긴 'i-line'이나 '불화 크립톤(KrF)'을 쓰는 구형 장비에 집중하며 생존을 꾀했다. 당시만 해도 첨단 기술 경쟁에서 밀려난 듯 보였지만, 차량용 파워 반도체나 메모리처럼 상대적으로 선폭이...
서울과학기술대학교 환경기술연구소 한국연구재단 중점연구소 
