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질화붕소 코팅장비 개발… 이차전지 안전성·수명↑
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넥스티리얼즈 연구진은 플라즈마 기반 화학기상증착(CVD) 기술 등을 활용하여 질화붕소 필름의 두께를 정밀하게 제어하고, 넓은 폭의 기판에 결함 없이 증착하는 공정을 구현하였다. 이를 통해 충·방전 시 발생하는 리튬...


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