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[테크다이브] EUV 장비 의존 낮춘다…DSA 기술 부상
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주로 폴리스틸렌(PS)과 폴리메틸메타크릴레이트(PMMA)라는 두 고분자 하나의 분자로 합성한 블록 공중합체를 사용됩니다. 이 블록 공중합체를 웨이퍼에 도포하고 가열하면 PS와 PMMA가 서로 분리되면서 미세한 패턴이...


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