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[2025 하반기 혁신특허 기술대상] 반도체 장비 소재 국산화·양산
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현재 100% 수입에 의존하는 AlGaN/GaN Epi-Wafer 등 핵심 소재의 국산화에 매진하고 있으며, 고가의 외산 장비를 대체할 신규 증착 장비(NME-CVD) 개발을 통해 2027년부터는 핵심 소재를 직접 양산할...


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