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반도체용 세정 가스 NF₃, 新 온실가스 추가 추진
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과불화탄소(PFCs), 육불화황(SF6)의 6종류로 정의해 산정하고 있다. IPCC는 지난 2006년 해당 지침을 개정해... 공정에서 PFCs가스를 대체하고 있다.(C4F8 대체가스 ‘G₁가스’ 개발) SK하이닉스는 유해 물질을 정제하고...


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