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[더벨][세미콘코리아 2025 리뷰]동진쎄미켐, 차세대 PR 'MOR' 올해 내 샘...
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삼성전자에 D램용 EUV PR과 두꺼운(Thick) 불화크립톤(KrF) PR을 공급 중이다. 동진쎄미켐이 삼성전자에... 현재 대부분의 노광 공정에는 CAR 타입의 EUV PR, 불화아르곤(ArF) PR, 불화크립톤(KrF) PR이 쓰인다. MOR은 이중 EUV...



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