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삼성전자·하이닉스, 친환경 전환 속도 올린다
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대표적으로 이산화탄소(CO2), 메탄(CH4), 아산화질소(N2O), 수소화불화탄소(HFCs), 육불화황(SF6), 과불화탄소(PFCs)에 삼불화질소(NF3) 등이 있다. 삼성전자 역시 반도체 양산·설계 단계에서 환경영향 최소화를 위한 기술 및...



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