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[종목이슈] 퓨릿, 삼성·SK·인텔 등 EUV 가동률 증가·미세화 수혜[카테고리 설정이 아직되어 있지 않습니다.]
적용 파트는 포토 공정 내에서 RRC(Resist Reduced Coating) 단계와 EBR(Edge Bead Removin) 단계이다. RRC는 포토 공정 내 감광액 코팅 전, 코팅 효과 향상을 위해 도포하는 단계다. EBR은 PR 도포 후 웨이퍼 가장자리에 두껍게...
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